Мішэні і катоды

(Спецыялізацыя НДЛ 45)

Мішэні і катоды рознага прызначэння з сверхчистых матэрыялаў, атрыманыя спяканнем ў вакууме з наступным выбухным прэсаваннем

Рэзістыўныя мішэні

Сумесна з Расійскім прадпрыемствам ТАА «лаб-3″ (г. Зеленаград) распрацавана тэхналогія вырабу рэзістыўных мішэняў на базе сіліцыдаў. Максімальныя памеры мішэняў: пласціны – да 450 мм; дыск – да 180 мм. Мішэні паспяхова прайшлі выпрабаванні на прадпрыемствах электроннай прамысловасці.

Намэнклятура рэзістыўных мішэняў для магнетронного распылення:

РС 3710, РС 3001, РС 2005,
РС 5406Н, РС 5406К, РС 2310К,
РС 3000К РС 6012, РС 2802М,
РС 2402, РС 4206, РС 4400,
РС 4800, РС 1004
і іншых складаў.

Тэхнічныя характарыстыкі

Найменне Склад, % вагі Прымяненне
Si Co Ni Cr Fe
РС-5406Н 41 6 53
РС-5406К 41 6 53
РС-5402 44 54 2
РС-4800 52 48 Для атрымання рэзістыўных прамежкавых слаёў, якія валодаюць высокай зносаўстойлівасцю, каразійнай устойлівасцю і здольнасцю да адгезіі.
РС-4400 56 44 Для атрымання рэзістыўных слаёў, якія валодаюць высокай зносаўстойлівасцю, каразійнай устойлівасцю і здольнасцю да адгезіі і стабільнай працы на працягу доўгага часу пры тэмпературы да 400 400 °С.
РС-3710 53 10 37 Для атрымання рэзістыўных слаёў тонкаплёнкавых вырабаў электроннай тэхнікі агульнага і прыватнага прызначэння.
РС-1004 85 10 5 Для атрымання высокоомных рэзістыўных слаёў тонкаплёнкавых мікрасхем прыватнага прызначэння.

У 2007 годзе была ўдасканалена тэхналогія вытворчасці рэзістыўных мішэняў для магнетронного распылення. З 2007 па 2010 гады на ўстаноўцы «араторыі-29П» былі зроблены параўнальныя выпрабаванні чатырох мішэняў для магнетронного распылення зробленых па старой і па новай тэхналогіі. У ходзе выпрабаванняў вызначылі, што ўдасканаленая технологияпроизводства дазволіла павялічыць час працы мішэні да з’яўлення першай расколіны і час працы мішэні да стану немагчымасці яе далейшага выкарыстання больш чым у 3 разы.